高精度平面磨床是一種高精度加工設(shè)備，主要用于加工工件的平面，以達(dá)到高的表面質(zhì)量和精度要求。采用精密的控制技術(shù)、高精度的傳動(dòng)裝置和各種精密機(jī)械組件，能夠確保加工精度的穩(wěn)定性和一致性。這些技術(shù)使得磨削深度和磨削精度可以被精確控制在特定的范圍內(nèi)，滿足微米級(jí)的加工精度需求。
1、高穩(wěn)定性床身
整體花崗巖結(jié)構(gòu)：高精度平面磨床的床身通常采用整體花崗巖結(jié)構(gòu)，因?yàn)榛◢弾r具有高阻尼、小振動(dòng)和良好的熱穩(wěn)定性，這些特性確保了磨床的高剛度和高穩(wěn)定性。
閉式靜壓導(dǎo)軌：工作臺(tái)面采用整體花崗巖結(jié)構(gòu)，并在傳統(tǒng)閉式靜壓導(dǎo)軌的基礎(chǔ)上開發(fā)了高剛性、高精度的大平面閉式靜壓導(dǎo)軌，以實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)的大行程、平穩(wěn)、可靠的往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
2、工作臺(tái)
直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)：工作臺(tái)采用SIEMENS直線電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，同時(shí)為了防止直線電機(jī)的運(yùn)動(dòng)影響臺(tái)面，專門為直線電機(jī)設(shè)計(jì)了獨(dú)立的靜壓導(dǎo)軌。
光柵系統(tǒng)閉環(huán)控制：臺(tái)面的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)由HEIDENHAIN光柵系統(tǒng)進(jìn)行閉環(huán)控制，從而保證了工作臺(tái)具有高精度、快速響應(yīng)的運(yùn)動(dòng)特性。
3、立柱、滑座與橫梁
熱變形控制：立柱和橫梁采用花崗巖制成，以控制由于熱引起的機(jī)床變形。
伺服電機(jī)與滾珠絲杠：砂輪橫向位移滑座置于固定的橫梁上，安裝砂輪架的垂直運(yùn)動(dòng)拖板置于橫向位移滑座上。橫向位移和垂直運(yùn)動(dòng)均采用SIEMENS伺服電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)高精度滾珠絲杠來(lái)完成，HEIDENHAIN光柵位置反饋。
4、砂輪架
靜壓主軸系統(tǒng)：開發(fā)了轉(zhuǎn)速范圍廣、高剛性、高精度砂輪靜壓主軸系統(tǒng)，以實(shí)現(xiàn)砂輪的高剛性、高精度回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
砂輪平衡裝置：砂輪主軸配備了砂輪平衡裝置，配套的管理控制程序能在循環(huán)中連續(xù)監(jiān)測(cè)砂輪的情況并立即對(duì)可能出現(xiàn)的不平衡量進(jìn)行補(bǔ)償。
5、測(cè)量系統(tǒng)
在位測(cè)量系統(tǒng)：機(jī)床配備了激光干涉儀作為加工精度的在位測(cè)量系統(tǒng)，通過機(jī)床臺(tái)面運(yùn)動(dòng)和測(cè)量拖板橫向運(yùn)動(dòng)，使激光干涉儀的鏡頭可以掃描所有加工面積。
6、潤(rùn)滑和保護(hù)
獨(dú)立自動(dòng)循環(huán)潤(rùn)滑系統(tǒng)：獨(dú)立的自動(dòng)循環(huán)潤(rùn)滑系統(tǒng)提供導(dǎo)軌和螺桿的定期清潔和潤(rùn)滑，并具有失壓報(bào)警功能。
全密封屏蔽：配備全密封屏蔽，有效防止研磨液濺出機(jī)器，減少灰塵和霧對(duì)環(huán)境的影響，確保環(huán)境清潔和操作人員的健康。
7、電氣系統(tǒng)
數(shù)控系統(tǒng)：該機(jī)器采用數(shù)控系統(tǒng)，三個(gè)數(shù)控軸分別控制機(jī)床的上下運(yùn)動(dòng)。
電氣柜與控制面板：機(jī)床采用配有三色燈的獨(dú)立電氣柜?？刂泼姘宀捎眉胁僮鳎胁僮髟蛿?shù)控系統(tǒng)都集中在這里。
8、冷卻系統(tǒng)
大流量冷卻系統(tǒng)：配備大流量冷卻系統(tǒng)和磁性分離以及紙過濾裝置，可滿足高效研磨生產(chǎn)連續(xù)性的需要，進(jìn)一步保證研磨質(zhì)量。
